画像引用元: upload.wikimedia.orgオルトケイ酸テトラエチル
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オルトケイ酸テトラエチルは、化学式がSi(OC<sub>2</sub>H<sub>5</sub>)<sub>4</sub>である化合物であり、英語名のTetraethyl orthosilicateを略して、TEOSとも呼ばれる。この分子は中心のSiO<sub>4</sub>イオン（オルトケイ酸イオン）にエチル基が4つついた構造をしている。溶液中のイオンとしてはオルトケイ酸イオンは存在せず、TEOSはオルトケイ酸（Si(OH)<sub>4</sub>）のエチルエステルであるとも解釈できる。消防法による第4類危険物 第2石油類に該当する。TEOSは正四面体構造をとる。類縁体が数多く存在するが、たいていは四塩化ケイ素のアルコールによる加溶媒分解により合成される。:SiCl<sub>4</sub> + 4 ROH → Si(OR)<sub>4</sub> + 4 HClここでRはメチル基、エチル基などのアルキル基。